Cryopumps ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในชีวิตปัจจุบัน หลายคนอาจไม่เคยได้ยินคำว่า cryopumps Cryopumps เป็นปั๊มสุญญากาศชนิดหนึ่งที่ใช้ก๊าซควบแน่นบนพื้นผิวที่อุณหภูมิต่ำ ข้อดีคือกำลังสูบน้ำสูงสุด วันนี้เรามาดูปั๊มไครโอเจนิค ว่าปั๊มทำงานอย่างไร
หลักการทำงานของไครโอปั๊มคือการใช้แก๊สดูดซับบนพื้นผิวที่มีอุณหภูมิต่ำเป็นพิเศษเพื่อให้ได้ผลของการหลบหนี เป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพและรวดเร็วในการได้เครื่องดูดฝุ่นที่สะอาด
Cryopump สามารถเข้าถึงสุญญากาศที่สูงมาก (10-11Pa) และมีข้อดีของความเร็วไอเสียที่รวดเร็ว ไม่มีน้ำมัน และทิศทางการติดตั้งที่ไม่จำกัด
ในระยะเย็นระยะแรกของไครโอปั๊ม ฝาครอบป้องกันและแผ่นกั้นถูกตั้งค่า และอุณหภูมิจะอยู่ที่ 80K ขั้นตอนการหล่อเย็นขั้นที่สองยังคงอยู่ที่ 15K และมีการติดตั้งฝาครอบแช่แข็งและตัวดูดซับถ่านกัมมันต์ไว้
ไอน้ำแข็งตัวบนแผงป้องกัน 80K และแผ่นกั้น 80K ไนโตรเจน ออกซิเจน และอาร์กอนแข็งตัวบนฝาครอบอุณหภูมิ 15K ไฮโดรเจน ฮีเลียม และนีออนถูกดูดซับบนตัวดูดซับภายในฝาครอบอุณหภูมิ 15K Cryopump สามารถระบายก๊าซทั้งหมดได้ แต่ถ้าปริมาณของก๊าซที่ดูดซับมากเกินไป ความเร็วไอเสียจะลดลง ในกรณีนี้ จำเป็นต้องให้ความร้อนแก่ไครโอปั๊ม ปล่อยก๊าซที่ดูดซับ แล้วใช้อีกครั้ง
คุณสมบัติของ Cryoump
Cryopump เป็นปั๊มสุญญากาศที่ใช้พื้นผิวที่มีอุณหภูมิต่ำเพื่อควบแน่นก๊าซหรือที่เรียกว่าปั๊มคอนเดนเสท เครื่อง Cryopump สามารถรับสุญญากาศสะอาดด้วยอัตราการสูบน้ำสูงสุดและแรงดันสูงสุดต่ำสุด และใช้กันอย่างแพร่หลายในการวิจัยและการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวม ตลอดจนการวิจัยลำแสงโมเลกุล อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ เครื่องมือวิเคราะห์พื้นผิวสูญญากาศ ไอออน รากฟันเทียมและอุปกรณ์จำลองอวกาศ ฯลฯ ด้าน
Cryopump เป็นปั๊มสุญญากาศที่ใช้เอฟเฟกต์การควบแน่นของพื้นผิวทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำมาก (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 77K) เพื่อกำจัดก๊าซออกจากระบบ ตั้งแต่ปี 1960 การปั๊มด้วยความเย็นได้ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายมากขึ้นเรื่อยๆ ในการจัดหาและการใช้สุญญากาศ
Cryopump เป็นปั๊มสุญญากาศที่สะอาด เนื่องจากตัวกลางแช่แข็งเป็นเพียงสารทำความเย็นที่ทำให้พื้นผิวการดูดของปั๊มเย็นลง และถูกจัดเก็บหรือหมุนเวียนในภาชนะที่ปิดสนิท จึงไม่มีการสัมผัสกับพื้นที่สุญญากาศ คุณลักษณะนี้มีความสำคัญสำหรับระบบสูญญากาศบางระบบที่ต้องการระบบสูญญากาศที่สะอาดและปราศจากน้ำมัน
Cryopumps สามารถบรรลุแรงกดดันบางส่วนที่ต่ำมากและความเร็วในการสูบน้ำสูงมากสำหรับก๊าซส่วนใหญ่ เมื่อ cryopump ทำงานในสื่อฮีเลียมเหลว ก็ยังมีข้อดีของความสามารถในการสูบน้ำจริงที่ดีเยี่ยมและการสูบแบบไม่คัดเลือก (ยกเว้นฮีเลียม)
Cryopumps มีบทบาทสำคัญในการวิจัยและการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวม การวิจัยลำแสงโมเลกุล และสาขาอื่นๆ เป็นปั๊มสุญญากาศที่สะอาด ข้างต้นเป็นข้อมูลเกี่ยวกับหลักการทำงานของไครโอปั๊ม