Cryopumps แบ่งออกเป็นสองประเภท: ฮีเลียมเหลวชนิดฉีด cryopumps และ cryopumms ตู้เย็นฮีเลียมก๊าซวงจรปิด
ฉีดฮีเลียมเหลว cryopump
ส่วนใหญ่ประกอบด้วยภาชนะฮีเลียมเหลวตัวปั๊มและช่องไนโตรเจนเหลวที่เชื่อมต่อกับแผ่นกั้น เพื่อลดการบริโภคฮีเลียมเหลวผนังด้านนอกของภาชนะฮีเลียมเหลวจะใช้ผนังฉนวนกันความร้อนสองชั้นและอพยพในระหว่างนั้น
เมื่อปั๊มถูกสูบไปยังความดัน Pa ล่วงหน้าไนโตรเจนเหลวและฮีเลียมเหลวจะถูกฉีดและก๊าซจะควบแน่นบนแผ่นเย็นที่ทํางาน 4.2K หลังจากการสูบน้ําล่วงหน้าความดันบางส่วนของฮีเลียมและไฮโดรเจนอยู่ในลําดับของ Pa ดังนั้นปั๊มสามารถรับแรงดันสูงสุดด้านล่าง Pa
หากภาชนะฮีเลียมเหลวถูกอพยพและคลายการบีบอัดเป็น 6650 Pa อุณหภูมิของฮีเลียมเหลวจะลดลงเหลือ 2.3K และสามารถรับความดัน จํากัด ที่ต่ํากว่าได้
รอบปิดก๊าซฮีเลียมตู้เย็น cryopump
มันเป็น cryopump ชนิดใหม่ที่ปรากฏในทศวรรษที่ 1970 ปั๊มนี้ไม่กินฮีเลียมใช้งานง่ายบํารุงรักษาง่ายและใช้มากขึ้น
สื่อทําความเย็นของตู้เย็นคือฮีเลียมก๊าซอุณหภูมิของแผ่นเย็นขั้นแรกคือ 50-100K และการใช้งานทั่วไปคือ 65K ซึ่งใช้ในการควบแน่นไอน้ําและก๊าซอื่น ๆ ก่อนเย็น อุณหภูมิของแผ่นเย็นขั้นที่สองคือ 10-20K ซึ่งใช้ในการควบแน่นไนโตรเจนก๊าซเช่นออกซิเจนและอาร์กอน
พื้นผิวด้านในของแผ่นเย็นรองถูกเคลือบด้วยถ่านกัมมันต์ ถ่านกัมมันต์มีความสามารถในการดูดซับที่แข็งแกร่งสําหรับฮีเลียมนีออนและไฮโดรเจนที่อุณหภูมิต่ํา แผ่นเย็นทําจากทองแดงที่ปราศจากออกซิเจนและพื้นผิวถูกขัดให้อยู่ในระดับกระจกเพื่อลดการปลดปล่อย
ความดันสูงสุดของปั๊มคือ Pa ช่วงความดันการทํางานคือ Pa และความดันก่อนสูบน้ําจะต้องเป็น 1 Pa อัตราการสูบน้ําของผลิตภัณฑ์สําเร็จรูปสูงถึง 60,000 ลิตร / วินาที นอกจากนี้ตามลักษณะของกระบวนการสามารถจัดแผ่นเย็นสกัดอากาศในภาชนะที่สูบและอัตราการสกัดอากาศสามารถเข้าถึงมากกว่า 106 ลิตร / วินาที
คุณสมบัติโครงสร้าง
โครงสร้างแนวตั้ง: เหมาะสําหรับการฝังในพื้นดินมันจะไม่ได้รับผลกระทบจากอากาศร้อนของมอเตอร์อุณหภูมิอากาศและแสงแดด ฯลฯ และง่ายต่อการรักษาความเย็น มันสามารถลดความสูงการดูดของปั๊มเพิ่มหัวเติมและปรับปรุง NPSH ที่มีประสิทธิภาพ โครงสร้างแนวตั้งยัง เป็นประโยชน์ต่ออากาศเสียเพื่อให้เพลาช่วงล่างมีความสูงเพียงพอที่จะอํานวยความสะดวกในการจัดเรียงของอุปกรณ์ปิดผนึกเพลาดังนั้นปั๊มจึงเรียกว่าปั๊มบาร์เรลแนวตั้ง
โครงสร้างสมมาตร: โครงสร้างโดยรวมของปั๊มมุ่งมั่นที่จะจัดเรียงอย่างสมมาตรเพื่อให้สามารถเปลี่ยนรูปอย่างสม่ําเสมอในสภาพเย็น โดยทั่วไปหัวเย็นจะใช้กลไกสองขั้นตอนขั้นตอนแรกถึง 80K และขั้นตอนที่สองถึงอุณหภูมิ 10K
เปลือกสองชั้น: เพื่อให้เย็นและอํานวยความสะดวกในการขนส่งสื่อที่เป็นอันตรายมันมักจะทําเป็นเปลือกสองชั้น เปลือกด้านในอยู่ภายใต้แรงดันปั๊มและความดันดูดอยู่ระหว่างเปลือกด้านในและเปลือกนอกซึ่งสามารถลดความต้องการความแข็งแรงของเปลือกด้านในได้อย่างเหมาะสม เปลือกนอกจะต้องทําเป็น interlayer สูญญากาศซึ่งมีผลของฉนวนกันความร้อน